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杂志ISSN号
高精度圆光栅检查仪的研制
作者姓名:
刘桂满
摘 要:
本文论述了影响圆光栅检查仪测量准确度的诸种因素,指出提高仪器测量准确度的根本途径,提出一种新型油润滑球体结构主轴系,介绍了利用圆光栅作基准、运用多头平均法获得高精度基准器的具体方法。
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