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| 高精度大圆平面测量 | |
| 作者姓名： | 毛方儒 |
| 作者单位： | 北京东方科学仪器厂, |
| 摘 要： | <正> 浮板是大型气浮轴承三大件之一。它的工作面是个超零级的大圆平面,加工中的检测和检定成为关键技术问题。一、测量方法的选择图1是大圆平面,工作面A不平度误差不大于0.003mm。因被测平面精度高、研磨面的面积大,故平晶法、刀口尺法、色点法都不适用。另外,由于难以获得超高精度的大平尺和平台, |
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