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恒压式气体微流量计的设计
引用本文:
张涤新,孟扬.恒压式气体微流量计的设计[J].中国空间科学技术,1999,19(3):65-71.
作者姓名:
张涤新
孟扬
作者单位:
兰州物理研究所
摘 要:
恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置,校准范围为(17.1-1*10^-5)Pa.L/s,不确定度于小于2%,可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构参数的选择。
关 键 词:
气体流量计
校准
结构参数
设计
微流量计
检漏
Design of Constant Pressure Flowmeter
Abstract:
Keywords:
Gas flowmeter
Calibration
Structure parameter
Design
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