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恒压式气体微流量计的设计
引用本文:张涤新,孟扬.恒压式气体微流量计的设计[J].中国空间科学技术,1999,19(3):65-71.
作者姓名:张涤新  孟扬
作者单位:兰州物理研究所
摘    要:恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置,校准范围为(17.1-1*10^-5)Pa.L/s,不确定度于小于2%,可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构参数的选择。

关 键 词:气体流量计  校准  结构参数  设计  微流量计  检漏

Design of Constant Pressure Flowmeter
Abstract:
Keywords:Gas flowmeter  Calibration  Structure parameter  Design
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