| 压电驱动微位移灵敏度的影响因素分析 |
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| 引用本文： | 王晓凤,冯之敬.压电驱动微位移灵敏度的影响因素分析[J].航空精密制造技术,2007,43(4):24-27. |
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| 作者姓名： | 王晓凤 冯之敬 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 从内在因素(迟滞和蠕变效应)和外在因素(环境、控制电源、预紧力、导向机构等)两大方面系统的总结了压电驱动微位移灵敏度的影响因素,并针对每种因素给出了相应的实验结果或调研数据,提出了提高分辨率可采取的措施。
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| 关 键 词： | 压电驱动 微位移灵敏度 迟滞 蠕变 |
| 文章编号： | 1003-5451(2007)04-0024-04 |
| 修稿时间： | 2007年1月15日 |
Key Factors for Micro-displacement Resolution of Piezoelectric Actuators |
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| WANG Xiao-feng,FENG Zhi-jing.Key Factors for Micro-displacement Resolution of Piezoelectric Actuators[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2007,43(4):24-27. |
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| Authors: | WANG Xiao-feng FENG Zhi-jing |
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| Abstract: | Key factors for micro-displacement resolution of piezoelectric actuators are systematically summarized in following two aspects: intrinsic(hysteresis;creep deformation) and extrinsic(environment;control power;pretightening force;guide mechanism etc.).Considering each factor,some valuable experimental and technical solution to improve the micro-displacement resolution were illustrated. |
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| Keywords: | piezoelectric actuators micro-displacement resolution hysteresis creep deformation |
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