感应同步器零级尺复制工艺

直线型感应同步器的精度主要取决于尺子的复制精度,我们以聚乙烯醇—重铬酸铵感光胶做为保护层,采用0.3%柠檬酸水溶液做为显影剂,通过选用负误差模版,或在曝光前将基板升降温的方法提高尺子的复制精度,获得了满意的效果,0级到1级尺达90%左右,工艺稳定,除此之外我们还通过实验的方法,确定了感应同步器尺子设计尺寸的修正公式,为今后设计高精室的感应同步器提供了依据。