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| 精密微动工作台 | |
| 引用本文： | 朱仁胜,沈健,赵韩. 精密微动工作台[J]. 航空制造技术, 2008, 0(10): 82-86 |
| 作者姓名： | 朱仁胜 沈健 赵韩 |
| 作者单位： | 合肥工业大学机械与汽车工程学院 |
| 摘 要： | 通过有限元法的应用,建立了微动工作台静、动特性的有限元分析模型,分析了柔性铰链在几个主要影响因素下的位移、应力分布以及固有频率和振型。应用正交试验设计,全面分析结构主要参数对微动工作台的静、动特性的影响。用逐步回归分析方法对数值计算结果进行回归,获得了微动工作台的性能及其结构尺寸的回归方程,并研制样机对其进行了验证。 |
| 关 键 词： | 微动工作台 有限元分析 逐步回归分析 |
Precision Nanopositioner Stage |
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| Keywords: | |
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