| 白光干涉检测仪微位移系统的精确控制方案 |
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| 引用本文： | 邹文栋,赵立忠.白光干涉检测仪微位移系统的精确控制方案[J].南昌航空工业学院学报,2008,22(1):49-53,93. |
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| 作者姓名： | 邹文栋 赵立忠 |
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| 作者单位： | 南昌航空大学,江西,南昌,330063;南昌航空大学,江西,南昌,330063 |
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| 摘 要： | 针对小电容压电陶瓷特有的迟滞曲线,建立实验系统采集压电陶瓷微位移器的位移-电压数据,然后用最小二乘法建立数学模型;通过计算机程序控制压电陶瓷驱动电压,实现了白光干涉检测仪微位移系统的开环控制,总位移20μm,精度可达0.03μm,并且给出了控制程序的流程图.
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 微位移 迟滞现象 数学建模 |
| 文章编号： | 1001-4926(2008)01-0049-05 |
| 修稿时间： | 2007年12月17 |
Curate control for tiny displacement system of detecting apparatus based on white- light interference technique |
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| ZOU Wen-dong,ZHAO Li-zhong.Curate control for tiny displacement system of detecting apparatus based on white- light interference technique[J].Journal of Nanchang Institute of Aeronautical Technology(Natural Science Edition),2008,22(1):49-53,93. |
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| Authors: | ZOU Wen-dong ZHAO Li-zhong |
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