| 原子层热电堆热流传感器研制及其性能测试 |
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| 引用本文： | 杨凯, 朱涛, 王雄, 陶伯万, 朱新新, 王辉, 杨庆涛. 原子层热电堆热流传感器研制及其性能测试[J]. 实验流体力学, 2020, 34(6): 86-91. doi: 10.11729/syltlx20190148 |
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| 作者姓名： | 杨凯 朱涛 王雄 陶伯万 朱新新 王辉 杨庆涛 |
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| 作者单位： | 1. 中国空气动力研究与发展中心 超高速空气动力研究所, 四川 绵阳 621000; 2. 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 成都 610054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点研发计划 |
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| 摘 要： | 
针对高超声速风洞试验中对高频热流脉动的测试需求,研制了一种基于横向热电效应的原子层热电堆（Atomic Layer Thermopile,ALTP）热流传感器。
利用弧光灯热流传感器标定系统对其进行静态标定,获得ALTP热流传感器的灵敏度系数约为8.24 μV/（kW·m-2）,优于国外同尺寸敏感元件的ALTP热流传感器6.90 μV/（kW·m-2）的灵敏度系数;利用激波风洞试验,并通过与薄膜热电阻热流传感器对比,初步获得ALTP热流传感器的响应时间上限,响应时间小于0.20 μs。
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| 关 键 词： | 原子层热电堆 热流传感器 标定 灵敏度系数 响应时间 激波风洞 横向塞贝克效应 |
| 收稿时间： | 2019-10-07 |
| 修稿时间： | 2019-12-16 |
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