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激光技术在电子工艺中的应用
引用本文:
荣烈润.激光技术在电子工艺中的应用[J].航空精密制造技术,1992(2).
作者姓名:
荣烈润
作者单位:
上海市静安区业余大学机械系 200040
摘 要:
本文介绍了国外在电子工艺中以激光技术进行激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况。
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