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杂志ISSN号
锡的物理机械性能及对晶体抛光质量的影响
作者姓名:
膝霖
史兴宽
宋绍忠
任敬心
作者单位:
西北工业大学
摘 要:
研究了锡的物理机械性能对晶体抛光质量的影响,揭示了锡的硬度在20-60℃范围内具有明显的感温特性及不同的容纳磨料嵌入的能力.使用锡盘抛光时切向力较大.因此,当抛光条件变差时易产生抛光切向振动,破坏抛光质量及面型精度.
关 键 词:
锡,抛光盘,抛光质量
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