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微机械加速度计
引用本文:冯惠明.微机械加速度计[J].自动驾驶仪与红外技术,2000(2):19-25.
作者姓名:冯惠明
摘    要:本文论述微机械加速度计,主要介绍它们的工作原理和设计规范,以及各种装置的结构,装配技术以及设备的技术,封装和界面电子电路,还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情,惯性传感性能在不断提高,如今的微加速度计的分辨率达ug级,电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。

关 键 词:加速度计  惯性传感器  微机械  陀螺  石英传感器
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