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超硬微结构光学功能表面的ELID磨削加工技术*
引用本文:张海南,郭兵,赵清亮.超硬微结构光学功能表面的ELID磨削加工技术*[J].航空精密制造技术,2013(4).
作者姓名:张海南  郭兵  赵清亮
作者单位:哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001
摘    要:针对超硬微结构功能表面的ELID磨削技术研究现状进行综述,介绍了超精密磨削技术在超硬微结构光学功能表面加工方面的研究进展,同时也介绍了ELID磨削技术应用于微结构加工方面的研究现状,探讨了采用ELID对超硬微结构光学功能表面进行磨削加工的可行性及面临的问题,并对微结构光学功能表面的ELID加工技术的发展和应用进行预测和建议。

关 键 词:微结构  光学功能表面  ELID磨削  超硬材料

ELID Ultra-precision Grinding of Super-hard Microstructured Optical Functional Surfaces
ZHANG Hai-nan , GUO Bing , ZHAO Qing-liang.ELID Ultra-precision Grinding of Super-hard Microstructured Optical Functional Surfaces[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2013(4).
Authors:ZHANG Hai-nan  GUO Bing  ZHAO Qing-liang
Abstract:
Keywords:microstructures  optical functional surface  electrolytic in-process dressing grinding  super-hard material
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