影响超精密加工表面质量的几种主要因素

分析和探讨了为获取被加工材料稳定的超精密表面所涉及的几个关键技术问题，包括超精密加工机床、刀具和环境条件时表面的影响以及超高精密表面的分析计成等几个方面。简述了加工机理和各环节误差补偿，并展望了这一研究领域的未来。