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10kV IGBT固态脉冲调制器技术研究
引用本文:汤宝寅,甘孔银,于永澔,王浪平,王小峰,刘洪喜,王松雁.10kV IGBT固态脉冲调制器技术研究[J].航空制造技术,2004(Z1):266-270.
作者姓名:汤宝寅  甘孔银  于永澔  王浪平  王小峰  刘洪喜  王松雁
作者单位:哈尔滨工业大学,焊接生产技术国家重点实验室
摘    要:描述了一种用于材料表面改性的新技术--等离子体浸泡式离子注入,以及它的关键设备--高压脉冲调制器.我们研制了1台用于材料表面改性的光纤隔离同步控制的10 kV IGBT固态脉冲调制器.试验结果表明技术性能优良,输出电压幅值可在1~10 kV范围内调节,脉冲宽度可在2~100μs范围内改变,重复频率可在10 Hz~8.5 kHz范围内变化;在纯阻性负载时,注入电压波形的上升时间和下降时间分别为350 ns和1.64μs;在等离子体负载时,由于电缆电容和下拉电阻较大,上升时间增加到2μs,下降时间增加到30μs;如果减小电缆电容和下拉电阻,上升时间可以进一步减小,下降时间可以减小到15μs.

关 键 词:材料表面改性  等离子体浸泡式离子注入  固态开关  脉冲调制器

Study of a 10 kV IGBT Solid-State Pulse Modulator Technique
Abstract:
Keywords:
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