声表面波器件刻图装置 |
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摘 要: | 本装置用于表面波器件刻图 ,其脉冲压缩系统中采用声表面波色散延迟线做匹配过滤器。其性能如下 :f0 =30MHz ;△f =5MHz ;T =50 μs(是由两级T′ =2 5μs子器件组成的 ,f=30MHz ;△f=5MHz ,副瓣电平 -30dB ,压缩脉冲宽 0 .32 μs) ;副瓣电平 2 4 .5dB ;脉冲展宽系数 1.7;压缩脉宽 0 .34μs ;可刻图面积为 50 0mm×90 0mm ;刻图精度 10 μm。本成果已超过国内 2 0 μm的刻图精度水平。声表面波器件刻图装置…
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