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| 白光干涉三维形貌快速测量算法 | |
| 引用本文： | 雷李华,李强,傅云霞.白光干涉三维形貌快速测量算法[J].航空科学技术,2021,32(3):62-70. |
| 作者姓名： | 雷李华 李强 傅云霞 |
| 作者单位： | 上海市计量测试技术研究院,上海 201203;上海市在线检测与控制技术重点实验室,上海 201203;航空工业北京长城计量测试技术研究所 计量与校准技术重点实验室,北京 100095 |
| 基金项目： | 航空科学基金;国家重点研发计划;国家市场监管总局科技项目 |
| 摘 要： | 针对航空科学技术产业中超精密加工对微纳米尺度的测试要求,本文提出一种白光干涉三维形貌快速测量算法.该算法通过将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合,得到待测样品的三维形貌测量结果,并采用二维离散差分算法判断并消除待测样品在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差,得到高精度的三维形貌测量结果,试验证明该算法纵向分辨率可达亚纳米精... |
| 关 键 词： | 白光干涉 三维形貌 相位融合 垂直扫描 |
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