一英寸拼接高分辨率时延积分CCD器件

贝尔北部研究(BNR)有限公司和依脱克(Itek)公司联合研制了一种1英寸可拼接高分辨率时间延迟积分(TDI)成象器件。该器件是2048×96个象元的埋沟CCD成象仪,它采用BNR有限公司的双层多晶硅栅工艺制造的。象元面积为13平方微米,时间延迟的工作沿96个象元的方向进行。CCD集成电路片头尾相连地拼接在一起,间隔只有二个象元。这样,允许建立的焦平面可具有数十万个象元。