| 微光机电系统制造工艺综述 |
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| 引用本文： | 周易,纪引虎.微光机电系统制造工艺综述[J].航空精密制造技术,2008,44(2):1-3. |
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| 作者姓名： | 周易 纪引虎 |
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| 作者单位： | 中国航空工业第六一八研究所,西安,710075 |
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| 摘 要： | 重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展望。
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| 关 键 词： | 微光机电系统(MOEMS) 硅微机械加工技术 LIGA技术 |
| 文章编号： | 1003-5451(2008)02-0001-03 |
| 修稿时间： | 2007年9月26日 |
Micro Optical Electro-Mechanical System Manufacturing Technology |
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| ZHOU Yi,JI Yin-hu.Micro Optical Electro-Mechanical System Manufacturing Technology[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2008,44(2):1-3. |
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| Authors: | ZHOU Yi JI Yin-hu |
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| Abstract: | |
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