MEMS“三明治”倾角传感器的仿真分析和优化设计 |
| |
作者姓名: | 高 旗 陈青松 杨 挺 杨贵玉 张洪涛 张 皓 |
| |
作者单位: | 北京遥测技术研究所,北京遥测技术研究所,北京遥测技术研究所,北京遥测技术研究所,北京遥测技术研究所,北京遥测技术研究所 |
| |
摘 要: | 对MEMS“三明治”式倾角传感器进行结构优化设计,敏感元件采用双梁-质量块结构,其中可动质量块通过双梁和周围框架相连,可动质量块和上下盖板构成上下差分电容。外界给定某一加速度时,上下间隙此消彼长,从而导致电容量发生变化。通过建立敏感元件的静力学模型,获得敏感元件的关键尺寸与其性能参数的关系,基于体硅工艺建立敏感元件的三维工艺模型,并采用ANSYS有限元仿真对敏感元件的灵敏度、线性度、谐振频率等参数进行分析计算,结果表明:敏感结构的一阶谐振频率为576.68 Hz,灵敏度为0.76 pF/g,±30°、±90°对应的线性度分别为0.8‰、3‰,均符合设计要求,最后给出了倾角传感器敏感元件的加工流程。
|
关 键 词: | MEMS倾角传感器 有限元仿真 灵敏度 线性度 谐振频率 体硅工艺 |
收稿时间: | 2022/1/25 0:00:00 |
修稿时间: | 2022/2/28 0:00:00 |
Simulated analysis and optimization design of MEMS Sandwich inclinometer |
| |
Authors: | GAO Qi CHEN Qingsong YANG Ting YANG Guiyu ZHANG Hongtao and ZHANG Hao |
| |
Institution: | Beijing Research Institute of Telemetry,Beijing Research Institute of Telemetry,Beijing Research Institute of Telemetry,Beijing Research Institute of Telemetry,Beijing Research Institute of Telemetry,Beijing Research Institute of Telemetry |
| |
Abstract: | |
| |
Keywords: | MEMS inclinometer FEA Sensitivity Linearity Resonant frequency Bulk-micromachining process |
|
| 点击此处可从《》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《》下载免费的PDF全文 |