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离子束刻蚀高频石英谐振器
引用本文:
张开军,张仲渊.离子束刻蚀高频石英谐振器[J].宇航计测技术,1982(5).
作者姓名:
张开军
张仲渊
作者单位:
华南工学院,山东大学
摘 要:
一、引言 AT切型石英谐振器具有良好的频率温度特性和零温度系数点,它的谐振频率f和晶片的厚度成反比,所以只要从工艺上能够不断地减薄石英晶片的厚度,就能不断地提高晶片的谐振频率,可使组装的晶体振荡器减少倍频单元,缩小体积,提高稳定性。但是
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