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编者按

作者姓名：	刘峰

摘要：	微系统技术融合了微电子、微机电和微光电技术,以系统架构和算法为核心,实现具备信号感知、信息处理、信令执行、互联通信和能源供给的一体化软、硬件多功能系统,并采用微纳制造及微集成工艺实现系统结构的微纳尺度化.它被公认为21世纪的革命性技术之一.
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