聚乙烯醇光刻胶的研制

本文对聚乙烯醇感光胶的感光性能进行了理论分析,在此基础上,探讨了将其用于光刻工艺的有关问题,叙述了添加各种添加剂后此胶的性能和应用范围,研究结果已用于生产过程,性能优于现用光刻胶,具有较好的经济效果。