国外光学镀膜工艺发展动向

如何将各种材料镀制成所需要的薄膜,这是镀膜技术和薄膜光学的基本问题之一。所谓镀膜工艺主要指蒸镀技术和监控方法。下面着重介绍国外蒸镀技术和监控方法的发展动向。一、蒸镀技术关于蒸镀技术,文献上记载甚多,有化学浸蚀法、溅射蒸镀法、真空热蒸发法、离子蒸镀之分;也有从运动能量出发,对生成的各种薄膜进行分类(见表1)。