| 参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用 |
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| 引用本文： | 赵慧洁.参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用[J].宇航计测技术,2001,21(2):6-9,18. |
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| 作者姓名： | 赵慧洁 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学自动化学院 |
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| 基金项目： | 本文由“航空基础科学基金”和“国防科技预研基金”项目资助，项目编号分别为：96I51115，98J18.3.3HK0119 |
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| 摘 要： | 引入了参数估计法对规则图形三维形貌测量中的关键问题提高差分干涉系统横向定位准确度的方法进行了理论分析。仿真计算表明，在采用普通激光束径和工作台的条件下，系统横向定位准确度优于0.1μm，同时系统的复杂性和造价大大降低。
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| 关 键 词： | 参数估计 |
| 修稿时间： | 2000年9月27日 |
Application of parameter
estimation on measuring the 3D topography of regulared-graph |
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| Zhao Huijie.Application of parameter
estimation on measuring the 3D topography of regulared-graph[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,2001,21(2):6-9,18. |
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| Authors: | Zhao Huijie |
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| Institution: | Zhao Huijie |
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| Abstract: | Parameter estimation method is introduced in this paper to analyze theoretically the key problem in measuring the 3D topography of regulared-graph which is how to improve the lateral positioning accuracy of differential interferometer system. The simulation results show that the lateral positioning accuracy of the system is better than 0.1 μm using the ordinary laser radius and working-table. Therefore, the complexity and expense of the system are greatly reduced. |
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| Keywords: | Parameter estimation\ Lateral positioning\ Micro-graph |
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