定偏心锡磨盘超精密抛光均匀去除模拟计算 |
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引用本文: | 张红霞,殷伯华,吴明根,高宏刚.定偏心锡磨盘超精密抛光均匀去除模拟计算[J].航空精密制造技术,1998(5). |
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作者姓名: | 张红霞 殷伯华 吴明根 高宏刚 |
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作者单位: | Zhang Hongxia,Yin Bohua,GaoHonggang et al |
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摘 要: | 通过对被研磨工件与锡磨盘相对运动轨迹方程的建立、模拟和计算,从理论上分析了影响获得超光滑金属表面(Ra05nm)的重要因素,以及如何选择运动参数。
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关 键 词: | 超精密加工 锡 轨迹 平面 研磨 |
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