| 一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法 |
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| 引用本文： | 余文新,邹自强,胡小唐.一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法[J].航空精密制造技术,2001,37(4):35-37. |
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| 作者姓名： | 余文新 邹自强 胡小唐 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学精
2. 北京光电量仪研究中心, |
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| 基金项目： | 教育部重点科技项目
(99022)的资助项目 |
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| 摘 要： | 提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法,并进行了详细充分的实验验证.
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| 关 键 词： | 光栅 细分 纳米测量 |
| 文章编号： | 1003-5451-2001(04)-35-03 |
A New Grating- based Metrology Method to Achieve Nanometer- order Resolution |
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| Yu Wenxin, Zou Ziqiang, Hu Xiaotang.A New Grating- based Metrology Method to Achieve Nanometer- order Resolution[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2001,37(4):35-37. |
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| Authors: | Yu Wenxin Zou Ziqiang Hu Xiaotang |
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| Abstract: | A new grating-based metrology method, which takes advantages of the good linearity of tangent function in small range around datum point is proposed in this paper. As a result, the measuring resolution of2nm is achieved with the improved the discrimination power of Computer Tangent Subdivision (CTS) method used in metrological grating technology, and the designed smaller precision measuring range in signal processing circuit. |
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| Keywords: | grating subdivision nano-metrology |
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