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HARPSS多晶硅振动环状陀螺
摘 要：
关 键 词：
多晶硅 寄生电容 环状陀螺 品质因素 硅单晶 晶片 垂直电极 空气间隙 频带 深槽蚀刻 微电子机械系统 MEMS 硅微机械 振动陀螺 侧滑速率传感器 HARPSS
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