| X射线衍射技术对InSb材料的无损检测 |
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| 引用本文： | 王武杰,赵岚,陈慧娟,何英杰,傅月秋,鲁正雄.X射线衍射技术对InSb材料的无损检测[J].航空精密制造技术,2008,44(2):45-47. |
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| 作者姓名： | 王武杰 赵岚 陈慧娟 何英杰 傅月秋 鲁正雄 |
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| 作者单位： | 中国空空导弹研究院,洛阳,471009 |
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| 摘 要： | 采用2θ-ω对称扫描,对(111)、(333)、(044)不同衍射面进行了ω扫描,得到了InSb不同衍射面之间强度和半峰宽度的规律;对晶片上不同位置进行了同一衍射面的ω扫描,得到半峰宽度的mapping,此外,还对材料进行了倒易空间(RSM)扫描。测试结果表明InSb材料结晶质量完好,均匀性好,符合制造良好光电器件的标准。
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| 关 键 词： | InSb X射线衍射 回摆曲线 半峰宽度 倒易空间图 |
| 文章编号： | 1003-5451(2008)02-0045-03 |
| 修稿时间： | 2007年9月20日 |
Nondestructive Testing for InSb Material Using X-ray Diffraction Method |
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| WANG Wu-jie,ZHAO Lan,CHEN Hui-juan,HE Ying-jie,et al.Nondestructive Testing for InSb Material Using X-ray Diffraction Method[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2008,44(2):45-47. |
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| Authors: | WANG Wu-jie ZHAO Lan CHEN Hui-juan HE Ying-jie |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | InSb X-ray diffraction method oscillating curve half peak width reciprocal space mapping |
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