| 经济型微机电台阶测量仪的研究 |
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| 引用本文： | 李强,吴宇列,李圣怡.经济型微机电台阶测量仪的研究[J].航空精密制造技术,2005,41(3):13-16. |
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| 作者姓名： | 李强 吴宇列 李圣怡 |
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| 作者单位： | 国防科技大学,机电工程研究所,长沙,410073;国防科技大学,机电工程研究所,长沙,410073;国防科技大学,机电工程研究所,长沙,410073 |
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| 摘 要： | 针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的测头支撑机构,对运动平台存在的偏心作用力和振动噪声问题做了分析和研究,提出了有效的解决方案。
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| 关 键 词： | 微机电 台阶测量 测量力 |
| 文章编号： | 1003-5451(2005)03-0013-04 |
| 修稿时间： | 2004年6月25日 |
Research of Economical Step Profiler for MEMS |
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| LI Qiang,WU Yu-lie,LI Sheng-yi.Research of Economical Step Profiler for MEMS[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2005,41(3):13-16. |
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| Authors: | LI Qiang WU Yu-lie LI Sheng-yi |
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| Abstract: | A step profiler is developed against the characteristics of small surface etching groove and high depth-width ratio of micro-device in the micro e lectro mechanical systems (MEMS). The measurement mechanism with varying cross s ection plate spring that worked with rotative movement is designed. The measurem ent force becomes small, the abrasion is none and the system resolution is impro ved. At the same time the system decentration action force and vibration noise a re researched. |
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| Keywords: | MEMS step height measurement measuring force |
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