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| 基于单目偏折术的半球谐振子面域振型测量 | |
| 作者姓名： | 朱睿 张祥朝 李绍良 赵万良 陈雨诺 郎威 徐敏 |
| 作者单位： | 复旦大学 上海超精密光学制造工程技术研究中心;上海航天控制技术研究所； 上海惯性技术工程研究中心 |
| 基金项目： | 上海航天科技创新基金（SAST2019-086）；国家自然科学基金（51875107） |
| 摘 要： | 针对半球谐振子振型的高精度面域测量难题，提出一种基于单目偏折测量术的测量方法。将半球谐振子振型测量转换为法向摆动角度测量，并基于逆向光线追迹对振型测量系统进行设计。在图像中提取振动拉长模糊斑的基础上，基于图像解卷积计算斑点摆动轨迹，将其转换为法向分别在经纬方向上的摆动角度，进而拟合得到半球谐振子振型的相关参数。实验结果表明，该方法可实现半球谐振子振型的高精度拟合，对振幅和法向摆角的测量分辨率分别可达10 nm与10μrad。与传统振动测量方法相比，其结构简单灵活、抗干扰能力强，有广阔的应用前景。 |
| 关 键 词： | 偏折测量技术 半球陀螺谐振子 驻波振动 振动测量 |
Areal Measurement of Vibration Modes of Hemispherical Shell Resonator by Deflectometry |
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| Authors: | ZHU Rui ZHANG Xiangchao LI Shaoliang Zhao Wanliang CHEN Yunuo LANG Wei Xu Min |
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