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基于温控方案的一种MEMS惯性测量装置设计
作者姓名:
何海洋
王章波
作者单位:
中国空空导弹研究院;
摘 要:
以提高MEMS惯性测量装置(MIMU)的测量精度为目的,本文设计了一套温度控制系统和控制算法;通过对MIMU进行精密温控,改善了惯性器件的热环境,抑制了外界温度变化对MIMU的干扰,提高了MIMU的综合性能;测试结果验证了方案的有效性。
关 键 词:
MEMS惯性测量装置
温控系统
MEMS陀螺
MEMS加速度计
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