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基于温控方案的一种MEMS惯性测量装置设计
作者姓名:何海洋  王章波
作者单位:中国空空导弹研究院;
摘    要:以提高MEMS惯性测量装置(MIMU)的测量精度为目的,本文设计了一套温度控制系统和控制算法;通过对MIMU进行精密温控,改善了惯性器件的热环境,抑制了外界温度变化对MIMU的干扰,提高了MIMU的综合性能;测试结果验证了方案的有效性。

关 键 词:MEMS惯性测量装置  温控系统  MEMS陀螺  MEMS加速度计
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