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| PCVD技术在原子氧效应防护技术中的应用 | |
| 引用本文： | 童靖宇.PCVD技术在原子氧效应防护技术中的应用[J].航天器环境工程,1997(2). |
| 作者姓名： | 童靖宇 |
| 作者单位： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 摘 要： | 概述了微波 ECR(Electroll Cyclotron Resonance)等离子化学气相淀积新技术(PCVD)在原子氧效应防护技术中的应用。文章对其原理、设备结构及工艺做了简要的介绍,并用数据说明该技术制备的空间防护膜,不仅有很好的抗原子氧剥蚀的性能,而且能避免电荷积累,防止航天器表面放电的发生,是多用途的空间功能性防护膜。 |
| 关 键 词： | 原子氧效应防护 微波电子回旋共振 等离子化学气相淀积 |
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