| 硅微静电悬浮陀螺微位移检测电路噪声分析 |
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| 引用本文： | 徐超,严小军,马高印,桑文华. 硅微静电悬浮陀螺微位移检测电路噪声分析[J]. 导航与控制, 2014, 0(1): 24-28 |
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| 作者姓名： | 徐超 严小军 马高印 桑文华 |
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| 作者单位： | 北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所 |
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| 摘 要： | 硅微静电悬浮惯性仪表主要面向空间应用，如卫星无拖曳控制，星载重力测量等，具有潜在分辨率高、功耗低、体积小、多轴集成等特点。仪表的高分辨率实现对检测电路的噪声提出了较高要求。本文以硅微静电悬浮陀螺仪单频调幅电容式微位移检测电路为例，从电路外部干扰噪声耦合机理及抑制、电路内部噪声分析及优化两个方面，给出了电源耦合噪声、电路温度特性以及放大器电路噪声分析优化等方面的理论推导、仿真及实验验证。
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| 关 键 词： | 微机械静电悬浮；电容式位移检测；低噪声；电路优化 |
Noise Analysis of Micro-displacement Detection Circuit of MESG |
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| XU Chao,YAN Xiao-jun,MA Gao-yin and SANG Wen-hua. Noise Analysis of Micro-displacement Detection Circuit of MESG[J]. Navigation and Control, 2014, 0(1): 24-28 |
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| Authors: | XU Chao YAN Xiao-jun MA Gao-yin SANG Wen-hua |
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| Affiliation: | Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electrostatic levitated micromechanical capacitive micro-displacement detection low noise circuit optimize |
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