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等离子体材料加工

作者姓名：	吴承康

作者单位：	中国科学院力学研究所

摘要：	就等离子喷涂及材料合成原理作简单叙述，着重介绍了等离子体材料加工技术在膜层沉积、微电子器件加工及金属熔炼等方面的应用。
关键词：	等离子加工，等离子喷涂，等离子熔炼，气相沉积
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