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| 等离子体材料加工 | |
| 引用本文： | 吴承康.等离子体材料加工[J].航空制造技术,1995(Z1). |
| 作者姓名： | 吴承康 |
| 作者单位： | 中国科学院力学研究所 |
| 摘 要： | 就等离子喷涂及材料合成原理作简单叙述，着重介绍了等离子体材料加工技术在膜层沉积、微电子器件加工及金属熔炼等方面的应用。 |
| 关 键 词： | 等离子加工，等离子喷涂，等离子熔炼，气相沉积 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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