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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
一种平面干涉系统的误差分离技术
作者姓名:
严家骅 任冬梅
作者单位:
长城计量测试技术研究所!北京市,100095,长城计量测试技术研究所!北京市,100095,长城计量测试技术研究所!北京市,100095,长城计量测试技术研究所!北京市,100095
摘 要:
给出一个干涉系统等效平面和被测平面形貌的数学模型,用于分离仪器的系统误差,以提高面形和长度测量的精度。
关 键 词:
平面检测 干涉仪 误差分离
本文献已被
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