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低温微磨料气射流加工微流道专用机床
引用本文:钱炳坤,孙玉利,张桂冠,刘旭,高航,左敦稳.低温微磨料气射流加工微流道专用机床[J].南京航空航天大学学报,2021,53(1):93-100.
作者姓名:钱炳坤  孙玉利  张桂冠  刘旭  高航  左敦稳
作者单位:1.南京航空航天大学直升机传动技术重点实验室,南京 210016;2.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连 116024
基金项目:国家自然科学基金面上(52075254)资助项目;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室研究基金(JMTZ201901)资助项目;江苏省研究生科研与实践创新计划(KYCX20_0183)资助项目;南京航空航天大学2019年研究生创新基地(实验室)开放基金(kfjj20190503)资助项目。
摘    要:针对目前低温微磨料气射流加工用简易实验装置中存在的问题,研制了低温微磨料气射流加工微流道专用机床。该机床主要由微磨料气射流发生部分、冷却部分、加工部分、磨料回收部分及其控制系统部分组成。首先对机床进行整体设计,保证其具有合理的布局和稳定的结构;其次针对机床的核心部件冷却器进行总体设计、理论计算与仿真分析,并开展测温实验验证设计的合理性,使用PLC控制器和液氮液位监测仪实现冷却器的自动控温;最后设计了四维移动平台,并通过人机交互界面对其进行编程控制。验证实验表明,该机床在低温下可实现对聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)材料的有效冲蚀去除,且加工效果明显好于常温下的加工效果,能够满足微流控芯片的多元化应用需求。

关 键 词:低温微磨料气射流加工  专用机床  冷却器  自动控温  聚二甲基硅氧烷
收稿时间:2020/7/17 0:00:00
修稿时间:2020/10/14 0:00:00

Micro-channel Special Machine Tool for Cryogenic Micro-abrasive Air Jet Machining
QIAN Bingkun,SUN Yuli,ZHANG Guiguan,LIU Xu,GAO Hang,ZUO Dunwen.Micro-channel Special Machine Tool for Cryogenic Micro-abrasive Air Jet Machining[J].Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,2021,53(1):93-100.
Authors:QIAN Bingkun  SUN Yuli  ZHANG Guiguan  LIU Xu  GAO Hang  ZUO Dunwen
Abstract:
Keywords:cryogenic micro-abrasive air jet machining  special machine tool  cooler  automatic temperature control  polydimethylsiloxane
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