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| 线性步进电机超精控制方法研究 | |
| 引用本文： | 张建明.线性步进电机超精控制方法研究[J].航空精密制造技术,1997(2). |
| 作者姓名： | 张建明 |
| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 论述了在超精坐标控制系统中，采用传统控制方法的线性步进电机控制系统所遇到的问题，介绍了适合于超精控制的新的线性步进电机控制方法及原理． |
| 关 键 词： | 线性步进电机 超精 控制 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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