| 微机电系统磁场传感器信号处理电路研究 |
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| 引用本文： | 陈洁,秦明.微机电系统磁场传感器信号处理电路研究[J].南京航空航天大学学报,2012,44(6):835-839. |
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| 作者姓名： | 陈洁 秦明 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61201032)资助项目 |
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| 摘 要： | 介绍了一种微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)磁场传感器微弱信号处理电路的设计,该处理电路是MEMS磁场传感器的重要组成部分,该电路由放大电路和滤波电路构成。对设计的处理电路进行模拟分析和实验测试,处理电路性能良好。外接MEMS磁场传感器后对传感器性能进行测试,传感器的电流-电压特性以及磁场-电压特性符合最初的设计要求,灵敏度可以达到14mV/mT。实验表明该电路对输出信号进行了放大,并有效地抑制了噪声,且有良好的灵敏度。
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| 关 键 词： | 放大电路 滤波电路 感生电动势 磁场 |
Signal Processing Circuit of MEMS Magnetic Field Sensor |
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| Chen Jie,Qin Ming.Signal Processing Circuit of MEMS Magnetic Field Sensor[J].Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,2012,44(6):835-839. |
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| Authors: | Chen Jie Qin Ming |
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| Institution: | (Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education,Southeast University,Nanjing,210096,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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