采用静电激励和电磁检测的平面振动陀螺仪 |
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作者姓名: | Lee. SH 伊小素 |
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摘 要: | 我们设计了一种采用静电激励(下同)和电磁检测的平面振动陀螺仪,该陀螺仪具有较大的敏感性并且可以采用表面微机械技术,大规模微机械技术和常规加工技术来加以制造,本文推导了陀螺仪和电磁检测系统的方程,该方程可决定采用静电激励和电磁检测的平面振动陀螺仪的输出特性,当驱动频率等于检测频率时,输出最大,谐振器的谐振频率由支架刚度地AC驱动电压为3V,电路放大倍数为2345,DC偏置电压为15V,DC场电流为5
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关 键 词: | 电磁检测 振动陀螺仪 静电激励 |
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