表面微加工惯性传感器的实例—一种电容式加速度计 |
| |
引用本文: | 陈光.表面微加工惯性传感器的实例—一种电容式加速度计[J].惯导与仪表,1998(3):8-14. |
| |
作者姓名: | 陈光 |
| |
摘 要: | 本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理,传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为10微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化BICMOS制造过程合二为一的要求。
|
关 键 词: | 电容式 加速度计 惯性传感器 表面微加工 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|