硅微机械音叉陀螺仪

使用不同尺寸检测质量的硅微机械振动陀螺仪已用同样的技术加工出来，其中包括薄膜规模封状技术。角速率传感器由电磁力在侧向来驱动，并且通过四个压敏电阻器连接成惠斯顿电桥来检测哥氏力产生的垂直运动。