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| 一种激光干涉仪外部测量触发电路 | |
| 引用本文： | 刘宁.一种激光干涉仪外部测量触发电路[J].航空计测技术,2005,25(4):52-52,54. |
| 作者姓名： | 刘宁 |
| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 |
| 摘 要： | 激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪（以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例）测量工件的实际尺寸（长度）时，需要用测头去探触工件，以取得工件的实际位置，因此需要有一触发装置，来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路，能够使激光干涉仪实现这一功能。 |
| 关 键 词： | 激光干涉仪 测量精度 触发电路 实际尺寸 触发装置 工件 校准仪 测头 |
| 文章编号： | 1002-6061（2005）04-0052-01 |
| 收稿时间： | 2005-02-25 |
| 修稿时间： | 2005-02-25 |
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