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| 基于PMAC的直线电机进给控制系统研究 | |
| 引用本文： | 宋涛,张清泉,张勇,安晨辉,张飞虎. 基于PMAC的直线电机进给控制系统研究[J]. 航空精密制造技术, 2009, 45(5) |
| 作者姓名： | 宋涛 张清泉 张勇 安晨辉 张飞虎 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001;中国工程物理研究院科研技术部,绵阳,621900 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目 |
| 摘 要： | 本文采用PMAC对高精度直线电机进行全闭环控制,调试出了良好的系统动态性能,使控制系统实现了50nm的微位移并在10μm/s的进给速度下的速度波动率仅为1%,验证了直线电机进给控制系统的高精度和良好的低速稳定性.光学元件的加工实验得到了Ra3.3nm的表面粗糙度,从而证明了该系统非常适合用于超精密机床的进给控制. |
| 关 键 词： | PMAC PID 全闭环控制 直线电机 |
Research of Feed Control System for Linear Motor Based on PMAC |
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| Abstract: | |
| Keywords: | PMAC PID |
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