| ZnO薄膜气敏元件 |
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| 引用本文： | 孙静静,陈慧凯,裘南畹,李东华,卫东.ZnO薄膜气敏元件[J].航空计测技术,2006,26(Z1):67-69. |
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| 作者姓名： | 孙静静 陈慧凯 裘南畹 李东华 卫东 |
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| 作者单位： | 山东大学，山东大学，山东大学，济南半导体研究所，济南半导体研究所 山东 济南 250100，山东 济南 250100，山东 济南 250100，山东 济南 250014，山东 济南 250014 |
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| 摘 要： | 通过在Al2O3衬底上粉末溅射ZnO做出了气敏特性和稳定性较好的ZnO薄膜气敏元件,实现ZnO薄膜的实用化,表明了ZnO是除SnO2外又一种新的气敏基材料.文中还对ZnO薄膜有关气敏特性和元件的气敏电流IG随酒气浓度C变化的规律进行了介绍.
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| 关 键 词： | ZnO 薄膜 实用化 |
The ZnO Thin-Film Gas Sensor |
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| SUN Jing-jing,CHEN Hui-kai,QIU Nan-wan,LI Dong-hua,WEI Dong.The ZnO Thin-Film Gas Sensor[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,2006,26(Z1):67-69. |
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| Authors: | SUN Jing-jing CHEN Hui-kai QIU Nan-wan LI Dong-hua WEI Dong |
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| Abstract: | ZnO thin film gas sensors having better gas sensing characters and better stability have been got on Al2O3 substrat by powder sputtering, so the practicality of ZnO thin film has been a chieved, it shows that ZnO is a new kinds of gas sensing basic materials besides SnO2. This work has also shows the law of the dependence of gas sensing current IG on alcohol concentration C. |
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| Keywords: | ZnO thin film practicality |
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