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准分子激光加工的应用
引用本文:
巴瑞璋.准分子激光加工的应用[J].航空制造技术,1998(4):32-33,43.
作者姓名:
巴瑞璋
作者单位:
北京航空工艺研究所
摘 要:
阐述了准分子激光加工及其特点,并着重介绍了准分子激光在微细加工和微电子制造业中的应用,以及对于不同材料的应用情况。
关 键 词:
准分子激光
激光加工
应用
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