| 微纳米加工过程中环境因素对精确定位的影响 |
| |
| 引用本文： | 张波,薛虹.微纳米加工过程中环境因素对精确定位的影响[J].航空精密制造技术,2007,43(5):6-9. |
| |
| 作者姓名： | 张波 薛虹 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院电工研究所,北京,100080 |
| |
| 摘 要： | 在激光干涉仪的微纳米加工过程中,着重分析了随着外界环境因素诸如大气压强、温度、相对湿度的变化而引起的测量结果的改变,进而分析对加工结果产生的影响。
|
| 关 键 词： | 微纳加工 双频激光干涉仪 大气压强 温度 湿度 |
| 文章编号： | 1003-5451(2007)05-0006-04 |
| 修稿时间： | 2007年5月16日 |
Study of Environmental Effect on Precise Position in Micromanufacture |
| |
| ZHANG Bo,XUE Hong.Study of Environmental Effect on Precise Position in Micromanufacture[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2007,43(5):6-9. |
| |
| Authors: | ZHANG Bo XUE Hong |
| |
| Abstract: | Evaluation the factors effected on the dualchanel laser interferometer precise measurement in micromanufacture, emphasizing on the measured value changed with the atmosphere pressure, temperature, humidity, which would greatly work on the results of the micromanufature. |
| |
| Keywords: | micromanufacture dualchanel laser interferometer atmosphere pressure temperature humidity |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
