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多种示漏气体分析仪的研制
引用本文:闫荣鑫,肖祥正,陈光锋,张家珠.多种示漏气体分析仪的研制[J].中国空间科学技术,1998,18(6):49-55.
作者姓名:闫荣鑫  肖祥正  陈光锋  张家珠
作者单位:北京卫星制造厂,兰州物理研究所
摘    要:借鉴欧洲空间中心所用检漏仪的原理及主要技术措施,采用分子泵和机械泵的真空获得系统、钛升华泵和旁通阀真空维持系统、高灵敏的质谱分析系统,研制出了一次能检测出多个系统的高灵敏的多种示漏气体分析仪。文章介绍该分析仪的原理、设计方案、设计特点、设计计算。进行了性能测试,结果表明:该分析仪在大气环境条件下,最小可检测He,CF4的浓度小于5×10-8,对Ne小于5×10-7。

关 键 词:气体,漏泄,气体分析仪,设计,性能试验

DESIGN OF A MULTI SEARCH GASES LEAK DETECTOR
Yan Rongxin.DESIGN OF A MULTI SEARCH GASES LEAK DETECTOR[J].Chinese Space Science and Technology,1998,18(6):49-55.
Authors:Yan Rongxin
Abstract:
Keywords:Gas  Leak  Gas analyzer  Design  Performance test
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