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离子注入技术的应用和发展
引用本文:刘淑敏.离子注入技术的应用和发展[J].航空精密制造技术,1990(3).
作者姓名:刘淑敏
摘    要:本文综述了离子注入技术的特点、应用、效益和发展,最后介绍了工业用离子注入机。一、离子注入技术的特点离子注入是一种新型表面处理技术。它是通过注入外来离子改变材料近表面化学成分和表面层结构,从而提高材料表面的物理、力学和化学性能,同时又保持基体材料原有性能、尺

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