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| 飞秒激光系统图像调焦装置以及方法 | |
| 作者姓名： | 寇千慧 刘华 谭明月 陆子凤 张有旋 王雨时 |
| 作者单位： | 东北师范大学先进光电子功能材料研究中心、紫外光发射材料与技术教育部重点实验室,长春吉林130024;北京控制工程研究所,北京100190 |
| 摘 要： | 飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态间接反映激光聚焦状态.利用Zemax软件模拟分析了原飞秒激光光路与加入调焦光源和物的调焦光路,二者可... |
| 关 键 词： | 飞秒激光直写系统 调焦技术 光学设计 模拟分析 加工精度 |
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